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一种压电传感器的基片

2025-06-19 18:352830下载
文件类型:PDF文档
文件大小:252K
本发明提供一种压电传感器的基片,该压电传感器的基片包括基片本体,所述基片本体的顶部表面和底部表面都均匀设置有凹孔,每相邻两组所述凹孔之间设置有弧形孔,该压电传感器的基片包括如下组成成分:氧化铝:2‑3份;二氧化硅:2‑3份;碳酸钙:3‑4份和稀土元素0.5‑1份。本发明提出的压电传感器的基片,具有优良的抗干扰性能,且便于涂胶,方便压电晶片的粘接,介电常数小,电绝缘性能好,热膨胀系数与集成电路中的元件相差小,体积密度小,大大降低了压电传感器的质量,便于生产,成本低廉。


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