一种复合稀土永磁薄膜、其制备方法及其应用器件

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一种复合稀土永磁薄膜、其制备方法及其应用器件。所述薄膜包括衬底和生长在衬底之上的稀土永磁薄膜，其中所述衬底为形状记忆合金。采用磁控溅射、真空蒸镀、电沉积、物理气相沉积或化学气相沉积对衬底进行生长薄膜处理，生长出所述的稀土永磁薄膜。本发明的复合稀土永磁薄膜通过衬底马氏体相变过程产生的形状记忆效应，在薄膜和衬底的界面处形成晶格错配，从而能够在薄膜中连续可控地引入应变，实现对稀土永磁薄膜性能的调控和优化，使其满足电子产品小型化、轻薄化、高性能化的发展需求。