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本发明公开了一种制备超高纯易挥发稀土铈螯合物的方法,包括:采用选自稀土铈盐、稀土氧化铈或金属铈中的一种或几种作为原料,并对其进行高纯度化处理,得到高纯度的稀土氧化铈或金属铈;将高纯度的所述稀土氧化铈或/和金属铈与反应试剂进行反应,生成III价态的稀土铈盐;将生成的所述III价稀土铈盐与螯合配体进行螯合反应,制备得到稀土铈螯合物。通过本发明的方法可制备出相对纯度≥5N(99.999%)的稀土铈(IV)螯合物。
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