一种用于重稀土晶界扩渗的传输装置

文件类型：PDF文档
文件大小：478K
本实用新型涉及镀膜生产设备领域，提供了一种用于重稀土晶界扩渗的传输装置。该流水线包括用于将未镀膜的物料和单面镀膜的物料输送至PVD镀膜机进行镀膜的进料输送机构、用于将单面镀膜的物料输送至翻转机构以及双面镀膜的物料输送至出料输送机构的中间输送机构、用于将单面镀膜的物料翻转180°后输送至进料输送机构的翻转机构、用于将出料输送机构上的双面镀膜的物料抓取至料盘的物料机械手、用于将料盘抓取至料盒中后再将料盒抓取至料盒传输机构的料盒机械手、用于将料盒传输机构上的多个料盒逐个抓取堆放至转运小车上的堆垛机械手、以及转运小车。本实用新型不仅大大降低了工作人员的劳动强度、提高了生产效率，而且还保证了物料的洁净。