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本发明涉及等离子体刻蚀的技术领域,公开了一种耐等离子体涂层的形成方法、零部件和等离子体反应装置,所述零部件包括零部件本体和耐等离子体涂层;所述耐等离子体涂层为结晶相的钇铝化合物结晶,位于所述零部件本体的表面,所述钇铝化合物结晶还包括稀土元素。钇铝化合物结晶涂层具有更好的耐腐蚀特性,更好地保护零部件本体在等离子体刻蚀工艺过程中不被腐蚀。
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