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本发明提供一种多步反复合成制备稀土掺杂钆镓铝单晶原料的方法,包括以下操作:1)称取用于掺杂的稀土和制备钆镓铝单晶的原料,放入坩埚中预烧;2)将预烧后的粉料混合均匀;3)将混合均匀的粉料放入坩埚,在温度1300~1600℃下烧结;4)使用陶瓷研钵研磨烧结过的混料,研磨后过筛,之后再混合5~10小时;5)重复2~5遍;6)将粉料放入等静压模具中,压制成型。本发明提出的方法,通过反复研磨、烧结、混合的方法制备混料,能够更加充分的得到成分一致的多晶料,为后续生长优质单晶提供了重要的保障。使用等静压压制成型使得压块各处的一致性较好,在单晶合成时能够快速熔化,减少原料挥发及分解。