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集成外延金属电极

2026-04-08 02:582230下载
文件类型：PDF文档
文件大小：5728K
本文描述了在稀土氧化物与半导体层之间增加外延金属层的系统和方法描述系统和方法以分层结构生长，其包基底、在基底上外延生长的第一稀土氧化物层、在稀土氧化物层上外延生长的第一金属层，以及在第一金属层上外延生长的第一半导体层


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