分享好友 知识库首页 频道列表

区域控制稀土氧化物ALD及CVD涂布

2025-06-20 01:274000下载
文件类型：PDF文档
文件大小：7705K
本文揭示一种在制品的表面上的具有一个或多个中断层以控制晶体生长的稀土氧化物涂层及其形成方法。所述涂层可以通过原子层沉积和/或通过化学气相沉积来沉积。本文揭示的所述涂层中的稀土氧化物可以具有与所述一个或多个中断层的原子晶相或非晶相不同的原子晶相。; -/-


请登录查看


反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0