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铝合金溅镀靶材

2025-06-21 05:231180下载
文件类型：PDF文档
文件大小：1376K
一种铝合金溅镀靶材，其特徵在於：包含合计为0.01原子%～0.04原子%的选自由Ni、Cr、Fe、Co及Cu所组成的群组中的至少一种元素、以及合计为0.01原子%～0.06原子%的选自La以外的稀土元素的至少一种元素，且剩余部分为Al及不可避免的杂质


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