一种旋转稀土靶材及其制备方法与应用

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本发明公开了一种旋转稀土靶材及其制备方法与应用，属于稀土靶材技术领域。该方法包括：在真空无氧环境下，以电磁复合场复合温喷涂的方式于靶材背管表面沉积稀土喷涂粉末。靶材背管的内部设有沿靶材背管轴向延伸的永磁铁棒，制备过程中，靶材背管处于旋转状态。通过采用温喷涂的方式，可在材料熔点以下，有效对稀土元素进行加热，并可初步提升粉末的沉积速度；通过设置永磁铁棒，可使喷涂粉末得到二次加速，有利于改善沉积靶材的表面成形质量，显著提升靶材材料与背管的结合强度，表面裂纹得到有效抑制，显著降低了内部裂纹的形成概率，内部气孔消失。为制备大尺寸、低氧化、高纯度、细晶粒、高结合、低成本的稀土靶材提供了新的制备方法。