紫外线反射膜及溅镀靶材

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本发明提供一种紫外线反射膜，其中藉由将构成紫外线反射膜的稀土元素、Cu及剩余部分的Al的量、以及稀土元素与Cu之比率控制於既定的范围内，波长254 nm的紫外线的反射率为85%以上一种紫外线反射膜，含有0.2 at%以上且3.0 at%以下的一种或两种以上的稀土元素、及0.2 at%以上且6.0 at%以下的Cu的任一者，剩余部分包含Al及不可避免的杂质，满足下述(1)式，波长254 nm的紫外线的反射率为85%以上 X＋0.5Y＜3.5···(1) [X为稀土元素的量[at%]，Y为Cu的量[at%]]