一种高纯稀土及合金靶材的制备方法

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本发明公开了一种高纯稀土及合金靶材的制备方法，属于靶材焊接技术领域，将稀土金属原材料通过低温气体动态沉积工艺沉积到金属背管上，得到初级稀土靶材，并对其表面进行磁控溅镀一层保护层，得到稀土靶材粗品；通过焊接工艺制备包套，在包套内表面涂覆防护层；将稀土靶材粗品装配到包套内进行封焊处理，然后进行脱气处理；将封焊靶材进行高温热压扩散焊接工处理，得到高纯稀土及合金靶材。本发明通过低温气体动态喷涂技术将稀土金属喷涂到背管上制备的高纯稀土靶材，克服了高温下稀土材料活性高易氧化等问题，再通过后续的超高压焊接处理可以得到致密度≥99％、晶粒尺寸细小、低偏析、内部结构均匀的高纯稀土靶材。