一种星用二硫化钼基复合润滑膜的制备方法

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本发明提供一种星用二硫化钼基复合润滑膜的制备方法，采用闭合场非平衡磁控溅射MoS2靶、Ti靶和稀土氟化物靶，在工作气体Ar的作用下，通过控制MoS2靶和Ti靶的电流以及稀土氟化物靶的功率，来制备二硫化钼基复合薄膜。该薄膜不仅结构致密，减摩性能优异，而且显著改善了传统MoS2基薄膜的耐磨性，寿命提高数倍。