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本发明是关于一种稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体及其制备方法,其制备方法包括:选择基底,并清洗;根据膜层设计,选择M源、R源和Fe源靶材,在所述的基底上交替镀制膜层,得到中间体;其中,M为Ba、Sr或Pb,R为稀土元素;将所述的中间体热处理,得到稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体;其中,所述的膜层包括至少一个单元膜层,所述的单元膜层包括M层、R层和Fe层。本发明可以仅用三种靶材,既可制备任意化学计量比的稀土掺杂磁铅石型六角铁氧体,可以节省实验或生产成本。
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