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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、显示面板的制作方法。该薄膜晶体管包括:衬底基板;形成在所述衬底基板上的栅极层、栅极绝缘层、有源层和源漏极层,所述有源层包括第一区域,所述第一区域为未被所述栅极层以及所述源漏极层覆盖;形成在所述有源层背离所述衬底基板一侧的钝化层,且所述钝化层与所述有源层的第一区域直接接触;其中,所述有源层和所述钝化层均掺杂有稀土元素。本发明提供的薄膜晶体管可以提高薄膜晶体管抗水氧能力。
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