紫外光产生用靶及其制造方法

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本发明的紫外光产生用靶(20A)，包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21)，和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22)，以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。