一种芯片集成的2微米波长微型激光器

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本发明公开了一种芯片集成的2微米波长微型激光器，包括稀土掺杂氧化硅微环芯腔和微纳光纤，其中微纳光纤处于所述氧化硅微环芯腔的一侧，所述氧化硅微环芯腔通过如下方法制备得到：(1)通过溶胶凝胶法在硅片表面制备稀土掺杂的氧化硅薄膜；(2)在所述氧化硅薄膜表面上用光刻、刻蚀工艺制备出氧化硅微盘腔；(3)利用二氧化碳激光器对所述氧化硅微盘腔进行加热回流处理得到氧化硅微环芯腔。本发明的利用溶胶凝胶稀土掺杂方法制备得到的2微米波长微型激光器具有芯片集成、微型化、稳定、阈值低等特性，通过二氧化碳激光回流的功率及时间，可优化腔内的能量模式体积，得到品质更优的激光器。