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具有用于改善对腐蚀性化学环境的耐受性的稀土(氧)氟化物涂层之器件及用于制造和使用该等器件之方法

2026-04-05 12:274560下载
文件类型：PDF文档
文件大小：10211K
揭露了一类含稀土的化学品。该等含稀土的化学品适合用于顺序气相沈积制程以形成稀土氟化物或稀土氟氧化物膜。此种膜可以用于保护材料及器件免受腐蚀性化学品之腐蚀。


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