一种具有大范围可调矫顽力纳米厚度稀土‑过渡合金薄膜的制备方法

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本发明公开一种具有大范围可调矫顽力纳米厚度稀土‑过渡合金薄膜的制备方法，将稀土贴片与铁钴合金靶相贴合形成复合镶嵌靶，采用磁控溅射复合镶嵌靶或者三元合金靶的方法，通过简单地控制溅射时间来改变生长薄膜的厚度，实现薄膜特性的连续变化，有效调节制备的稀土‑过渡合金薄膜的磁特性，实现矫顽力的大范围连续变化。该稀土‑过渡合金薄膜的制备方法简单，操作性强，重复性好、成本低廉，可在较大范围内调节薄膜的磁特性及矫顽力，满足不同技术领域的材料需要。