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一种碳化硅坩埚及其制备方法

2025-06-18 08:233270下载
文件类型:PDF文档
文件大小:254K
本发明提供了一种碳化硅坩埚及其制备方法,所述碳化硅坩埚由主料和辅料制成,所述主料由以下重量份的原料组成:石墨25~35份,碳化硅45~55份,粘土15~20份,金属硅3~5份;所述辅料由以下重量份的原料组成:木质素磺酸盐0.5~2.5份,稀土化合物0.7~1.8份,釉料2~5份。本发明的碳化硅坩埚具有较高的抗弯强度和耐热震性,使用寿命更长;生产工艺成本低,操作简单,易于实现。


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