成膜用粉末及成膜用材料

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本发明涉及一种包含稀土氟氧化物(Ln-O-F)的涂料粉末，其具有： 平均粒径(D[50])为0.1～10m， 孔径为10m或更小的孔的孔体积通过水银侵入孔隙度法测量为0.1-0.5cm3/g， 和在20°至40°的2°角范围内分配给稀土氧化物(LnxOy)的最大峰值强度(S0)与在相同范围内分配给稀土氟氧化物(Ln-O-F)的最大峰值强度(S1)的比率， S0/S1，在使用Cu-K射线或Cu-K1射线的粉末X射线衍射中为0或更小。