一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法

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本发明公开一种高密度、低电阻率AZO靶材的制备方法，包括以下步骤：取分散剂和粘接剂加入水中，搅拌均匀，用氨水调pH值至8～11，得预混液；所述分散剂为重量比为1：1～2的柠檬酸和聚乙二醇的混合物；向预混液中加入以化学共沉淀法制备的AZO粉体和烧结剂，再于球磨机中进行球磨，球磨后得到混合浆料，搅拌，抽真空除去浆料中的气泡；所述烧结剂由稀土氧化物、氮化硅和纳米GeO2组成；把铝制模装在石膏板上，将所得浆料注入铝制模中；吸浆成型后脱模干燥，得AZO坯体；干燥后的AZO坯体在空气中烧结，得AZO靶材。与现有技术相比，本方法可在较低烧结温度下获得致密度高、电阻率低及晶粒尺寸分布均匀的产品。