一种Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法

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本发明公开了一种Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层及其电沉积用镀液和电沉积方法，属于电沉积技术领域。本发明以乳酸和EDTA作为络合剂，镀液其余组分为亚铁盐、镍盐、NaH2PO2、RECl3、H3BO3及添加剂。使用以乳酸及乙二胺四乙酸作为络合剂的镀液，电沉积得到Fe‑Ni‑P或Fe‑Ni‑P‑RE非晶合金镀层，该镀层中铁含量为5％‑90％，镍含量为5％‑90％，铁和镍含量之和为80％‑92％，稀土元素的质量百分比为0‑5％，余量为磷。本发明通过调试镀液温度、电流密度和pH等工艺条件，成功制备了具有优异软磁性能的Fe‑Ni‑P(RE)合金薄膜，应用于微电子以及半导体功能器件领域。