耐电浆涂膜及其形成方法

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本发明涉及一种耐等离子体涂膜及其形成方法， 更具体地说， 一种耐等离子体涂膜及其形成方法， 该耐等离子体涂膜在热喷涂第一稀土金属化合物之后，通过气溶胶沉积和水合处理双重密封，能够使涂膜层的开槽和开孔最小化， 从而可以同时获得致密的稀土金属化合物涂膜所引起的耐化学性和耐等离子体腐蚀性。