一种稀土三氟化物LnF3薄膜及其制备方法

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本发明公开了一种稀土三氟化物LnF3薄膜及其制备方法，包括以下步骤：以稀土硝酸盐的水溶液作为电沉积溶液，采用脉冲电压沉积法制备得到稀土层状氢氧化物薄膜；将氟化物溶解获得溶液，调节pH值；将所述稀土层状氢氧化物薄膜浸没于所述氟化物溶液中，进行置换反应，得到稀土三氟化物薄膜。本发明提供的制备方法反应条件温和、操作简单，制备得到的稀土三氟化物薄膜平整且均匀，薄膜附着度高，结晶性好。