一种镍酸钕基超晶格相变薄膜材料及其制备和金属‑绝缘转变温度的调控方法

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一种镍酸钕基超晶格相变薄膜材料，该超晶格相变薄膜材料为多层复合膜结构，其组成为NdNiO3/RNiO3，其中R为稀土元素的一种，所述多层复合膜结构由NdNiO3层和RNiO3层通过周期性生长叠加而成；其采用固相烧结法制备NdNiO3和RNiO3靶材，采用脉冲激光沉积法成功制备出NdNiO3/RNiO3超晶格相变薄膜材料，本发明可通过改变R元素的种类和相变薄膜材料的总厚度来精准调控其金属‑绝缘转变温度。本发明具有薄膜晶体外延性好，制备工艺简单，两相厚度连续可调，相变薄膜材料的金属‑绝缘转变温度可精确调控等优点。