陶瓷结构体、基板保持装置用部件及陶瓷结构体的制法

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陶瓷结构体10为在圆盘状的陶瓷基体12的内部内置有电极14的陶瓷结构体。陶瓷基体12是主成分为氧化铝或稀土金属氧化物的烧结体，热膨胀系数在40～1200℃下为7.5～9.5ppm/K。电极14的主成分为金属钌。电极14可以形成为片状，也可以按一笔画的要领以在整个面上扩展的方式形成图案。