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一种场效电晶体,包含:一基板;一钝化层;一闸极绝缘层,形成於该基板与该钝化层之间;一源极及一汲极,形成与该闸极绝缘层接触;一半导体层,其至少在该源极及该汲极之间形成,且与该闸极绝缘层、该源极、及该汲极接触;以及一闸极,其与该闸极绝缘层接触,且隔着该闸极绝缘层面对该半导体层,其中该钝化层含有一第一钝化层及一第二钝化层,该第一钝化层含有第一复合金属氧化物,该第一复合金属氧化物含有矽以及硷土金属,该第二钝化层形成与该第一钝化层接触,且含有第二复合金属氧化物,该第二复合金属氧化物含有硷土金属以及稀土元素