一种用于MCVD的原料气体输送部件与掺杂装置

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本发明公开了一种用于MCVD的原料气体输送部件，包括设置于金属加热套管管内的原料输送管道，金属加热套管设置于高纯石英玻璃套管管内，原料输送管道中各个气体管道的材料均为耐腐蚀不锈钢材质。本发明将输送所有原料气体的管道置于金属加热套管中同步保温，然后同时输出至反应管中，可精确控制原料气体温度，使原料气体尽早混合均匀，改善气相沉积法制备稀土掺杂预制棒的均匀性；各个气体管道为耐腐蚀不锈钢材质，使得原料输送管道能够耐高温且能承受腐蚀气体的腐蚀性，并且耐腐蚀不锈钢材质延展性好，不像玻璃管道那样易碎；有效改善制备掺稀土光纤预制棒的工艺环境，提高光纤预制棒的性能。本发明还提供了相应的用于MCVD的掺杂装置。