一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感

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本发明公开了一种基于铁镍多元合金磁芯的微型薄膜电感，属于微电感器件技术领域。该电感包括薄膜磁芯和线圈，所述薄膜磁芯为铁镍多元合金薄膜，其中：所述薄膜磁芯作为线圈的内芯，即线圈螺旋缠绕于薄膜磁芯之外；或者，所述薄膜磁芯作为外芯，即线圈包裹于薄膜磁芯之内。本发明通过调整磁芯材料铁、镍、磷、稀土多元合金的成分与制备工艺，可实现各向异性、矫顽力小、电阻率高、磁感应强度高的性能，从而使电感器的损耗减少、工作频率和品质因子提高，在微电子器件领域有良好的适用性。