一种稀土掺杂陶瓷基金刚石基板材料及其制备方法

文件类型：PDF文档
文件大小：258K
本发明公开了一种稀土掺杂陶瓷基金刚石基板材料，其原料组分及质量百分比含量为：金刚石粉末65～85％, 陶瓷粉末15～35％；所述陶瓷粉末的原料组分及质量百分比含量为：SiO2 40～62％，B2O3 21～33％，Li2O 5～13％，Al2O3 3～7％，Na2O 2～6％, CaO 2～5％，CeO2 1～10％。首先制备陶瓷粉末，再经配料、成型后于750～800℃烧结。本发明于低温常压下制得，最高导热系数和抗弯强度分别达到4.5w/(m·k)和103Mpa，具有介电系数低、热膨胀系数与Si电子元件相匹配等优点，是一种适用于电子封装的基板材料。