氧化铈研磨材料、氧化铈研磨材料的制造方法及研磨加工方法

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本發明之課題在於提供一種含有藉由使用稀土類鹽水溶液與沉澱劑之合成法所製造之氧化鈰研磨材料粒子之氧化鈰研磨材料，其係包含球狀粒子且為研磨性能(研磨速度及研磨面的研磨精度)優異之氧化鈰研磨材料粒子之氧化鈰研磨材料，並且提供該製造方法及研磨加工方法。 本發明之氧化鈰研磨材料，其係含有藉由使用稀土類鹽水溶液與沉澱劑之合成法所製造之球狀氧化鈰研磨材料粒子之氧化鈰研磨材料，其特徵為前述氧化鈰研磨材料粒子為平均寬高比位於1.00~1.15的範圍內之球狀粒子。