一种纳米结构超导复合薄膜及其制备方法

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本发明提供了一种纳米结构超导复合薄膜及其制备方法。本发明所提供的纳米结构超导复合薄膜是通过磁控与脉冲激光共沉积工艺将超导材料与非超导纳米材料共同沉积在基片上而形成；所述基片为SrTiO3、LaAlO3、MgO或柔性金属基带等；所述超导材料为REBa2Cu3O7 x(RE=Y、Gd、Nd、Sm等稀土元素)或(LaSr)2CuO4等，所述非超导纳米材料为MgO、CeO2、Y2O3、BaZrO3和BaSnO3中的至少一种。本发明通过磁控和脉冲激光共溅射方法，在薄膜生长过程中实时调节磁控和激光溅射参数来实现对引入缺陷分布情况的控制，最终实现对超导复合薄膜微结构及超导性能调控的目的。