含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材及制备方法

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一种含微量稀土元素的镍钒合金磁控溅射旋转靶材及制备方法，其靶材化学成分为0.002wt~0.05wt%RE，5~9 wt%V，余量为Ni及不可避免的杂质。通过真空熔炼、浇注、热锻、热穿孔或热挤压成管状、冷拉、退火、机加工等工艺过程。采用的原材料有纯度为99.95%的电解镍、99.9%的海绵钒、99.9%的混合稀土元素。通过真空熔炼，在电解镍熔清精炼后添加海绵钒，能显著提高旋转靶材的抗氧化性和耐蚀性，改善靶材的稳定性和热硬性及对材料过热的敏感性，添加微量的稀土元素，能提高材料纯度，实现靶材的显微组织细化、均匀，有利于提高Ni-V-RE旋转靶材的密度和材料塑性，延长材料的使用寿命。该旋转靶材广泛应用于电子元器件、通讯、太阳能等行业。