一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材

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本发明公开了一种平板显示器触摸屏用铝稀土合金旋转溅射靶材的制备方法及其制备靶材，其制备方法包括以下步骤：粉末制备，冷等静压，真空烧结，热等静压，机械加工，铟绑定。该方法工艺简单，操作方便，在热等静压时，不需要常规的包套及氩弧焊，减少后续工序，可大靶管直接进行热等静压，降低生产成本。本方法制备的铝稀土合金旋转溅射靶材成分均匀，长度可达到4000mm或更长，靶管厚度可达到25mm，靶材相对密度≥99.9％，纯度≥99.99％，晶粒尺寸小于30微米，所制备的旋转靶材属于高端旋转靶材，可以运用到更为广泛的领域。