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本发明提供了一种用于校准纳米压痕仪的高硬度值纳米硬度标准物质。具体而言,该标准物质量块为圆柱体,单个直径1.5cm,高度0.5cm,表面粗糙度RMS约为1.2nm,为纳米WC硬质合金压制而成,属于六方晶系,体心立方结构,硬度值和弹性模量均一(硬度平均值为23.09GPa,弹性模量平均值为543.61GPa),耐磨性能优异,在强酸强碱环境下不易被腐蚀。该硬质合金是通过高温液相反应,首先制得纳米WC颗粒,然后进行原位包敷稀土晶粒生长抑制剂,再与球形纳米Co共同研磨获得粉体之后,通过压制、成型、煅烧、切割和抛光,得到硬质合金标准样块。所制得的WC-Co硬质合金硬度标准物质,符合标准物质性质和量值稳定的特征,能够满足纳米压痕仪在高硬度值区间的仪器校准与建立溯源链的需求。