一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃及其制备方法

文件类型：PDF文档
文件大小：724K
本发明公开了一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃及其制备方法，其中，一种用于电致变色玻璃的透明导电玻璃，其依次包括：玻璃基层、保护膜、增透膜和透明导电膜；其制备方法包括如下步骤：(1)制备导电膜材料靶；(2)清洗玻璃基层；(3)保护膜溅射；(4)增透膜溅射；(5)透明导电膜溅射；(6)退火处理得到成品透明导电玻璃。本发明用于电致变色玻璃的透明导电玻璃，利用了掺有稀土材料的AZO透明导电膜，因此，具有膜层均匀、高透过率、低面电阻三个方面的优点。