一种聚合物少模波导及其制备方法

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本发明公开了一种聚合物少模波导及其制备方法，属于平面光子器件技术领域，从下到上，依次由二氧化硅衬底、在二氧化硅衬底上旋涂的少模波导芯层、在少模波导芯层上旋涂的上包层组成，所述少模波导芯层采用稀土掺杂有源聚合物材料，所述上包层采用无掺杂的聚合物材料；所述稀土掺杂有源聚合物材料是将稀土纳米粒子通过物理方法均匀掺杂到SU‑8聚合物材料中制备的芯层增益介质，所述稀土纳米粒子为NaYF4：Yb，Er纳米粒子，本发明的一种少模聚合物波导克服了传统光波导放大器仅能对单一模式放大的局限，实现多个信号模式同时放大的功能。有效补偿模分复用系统中由于模式间转换、耦合以及传输过程中所产生的损耗，从而改善系统的传输性能。