稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法

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本发明公开了一种稀土掺杂Sb基相变薄膜材料及薄膜制备方法，稀土掺杂Sb基相变薄膜材料的化学分子式为SbxAy；其中0< x≤0.92，0< y≤0.48，x+y=1.00；并且A为稀土。通过该方法使制备的薄膜热稳定性好，数据保持力好，低功耗。