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一种多晶硅生产中使用的还原炉

2025-06-17 18:393020下载
文件类型:PDF文档
文件大小:238K
本实用新型涉及多晶硅生产中使用的还原炉,包括炉底盘和套设在炉底盘上的钟罩,钟罩包括不锈钢炉筒,不锈钢炉筒的外壁上设置有一层外保温层,不锈钢炉筒的内壁上设置有一层隔热材料,隔热材料的厚度为5-8mm,隔热材料由锆酸盐、氮化硼和稀土组成,隔热材料中各组分的质量百分比为:锆酸盐占50-70%、氮化硼占15-35%、稀土占2-15%。该还原炉能解决多晶硅生产中还原炉炉筒冷却水带走大量热能的问题,减少水的浪费,减少设备的投入,且使还原炉内的温度更加均匀平衡,使还原炉中的硅棒更加受热均匀,提高整炉的物料转换率和收成率,从而为多晶硅生产节省成本,提高成品率,提高效益。


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