分享好友 知识库首页 频道列表

用于电浆处理腔室部件的覆层

2025-06-20 20:014610下载
文件类型：PDF文档
文件大小：673K
提供一种在电浆处理室中用之含铝元件体上提供覆层的方法。在元件体上形成阳极化层。研磨阳极化层以减少表面粗糙度。借由气溶胶沉积、电浆汽相沉积、及原子层沉积中之至少一者将含稀土层沉积在经研磨之阳极化层上。


请登录查看


反对 0
举报 0
收藏 0
打赏 0
评论 0