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本发明涉及一种稀土掺杂氧化钨纳米结构(纳米线、纳米棒、纳米颗粒、纳米片等)薄膜的制备方法。以钨粉和稀土氧化物(氧化铕、氧化铈等)的混合物为原材料,首先用传统的热蒸发法在石英、硅片、陶瓷等耐高温衬底上生长薄膜,再进行退火处理得到稀土掺杂的氧化钨纳米薄膜。该稀土掺杂氧化钨纳米结构材料分布均匀,拉曼光谱显示氧化钨的特征峰,具有高结晶度,采用短波长光激发,发射光谱显示出稀土离子特征峰。由于氧化钨晶体结构丰富、可逆、易变,而稀土离子处于不同的晶格场中时能级劈裂不同,可以根据发射谱线的特点辨别晶体场的变化,从而达到稀土离子对晶格场的探针作用,在发光领域、半导体领域和作为荧光探针等有巨大的潜在应用价值。