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本发明公开了一种抗结焦合金材料的处理方法,对抗结焦合金材料进行低氧分压气氛处理,在合金材料形成表面抗结焦、抗渗碳保护膜;所述的低氧分压气氛气体包括氧化性气体和还原性气体和/或惰性气体;所述抗结焦合金材料由Cr、Ni、C、Fe、Mn、Si和微量元素组成,其中微量元素选自Al、Nb、Ti、W、Mo及稀土元素中的至少一种;所述的合金材料中,Cr的含量为:20-50wt%;所述合金材料中Mn和Si的含量(wt.%)同时满足以下关系:本发明可直接在通常的碳-氢化合物裂解气氛中在抗结焦合金材料表面形成复合氧化膜,膜薄连续,在高温结焦气氛中化学稳定性高。