一种掺杂二氧化铈阻隔层及其制备方法

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本发明公开了一种掺杂二氧化铈阻隔层，该阻隔层的化学组成为MoxCe0.75RE0.25-xOδ，其中0.05≦x< 0.25，δ＝1.5x+1.875，所述RE为稀土元素Dy或La。另外，本发明还公开了制备该掺杂二氧化铈阻隔层的方法，该方法为：一、将有机钼盐、有机铈盐和有机稀土盐溶解于丙酸中，得到前驱液；二、将前驱液浸涂于基底上，得到覆着于基底表面的湿膜；三、对湿膜进行保温热处理，在基底表面得到掺杂二氧化铈阻隔层。本发明的阻隔层具有锐利的c轴取向，表面平整且无微裂纹，同时能够有效阻隔镍原子的扩散。