一种气敏传感器制备方法

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本发明公开了一种气敏传感器，包括由下至上安装的基板、底电极、绝缘层、上电极引线层、敏感薄膜层和上电极组成，所述的敏感薄膜层为稀土金属酞菁LB膜敏化大带宽金属氧化物纳米孔道阵列结构，如TiO2纳米管阵列。本发明还提供了所述气敏传感器的制备方法。本发明提供的气敏传感器结构新颖、易于集成。本身体积可控，为传感器的小型化、轻型化、集成化提供了便利。因其在室温下工作，在化工、医药、食品工业等都具有非常广阔的应用前景。