钇改性碳氮化铬铝/氮化硅纳米复合涂层及其沉积方法

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本发明涉及一种钇改性碳氮化铬铝/氮化硅纳米复合涂层及其沉积方法，目的在于通过对碳氮化铬铝及氮化硅进行纳米复合设计，形成纳米晶碳氮化铬铝植入非晶氮化硅的纳米复合结构，提高涂层硬度的同时，兼顾涂层的韧性及涂层和基体的结合强度，同时引入稀土元素Y进一步提高涂层的力学性能和高温抗氧化性，获得一种结合力强、硬度高、韧性好、摩擦系数低、热稳定性突出的高速钢、硬质合金刀具、模具用纳米复合涂层。涂层包括铬铝钇粘结层、氮化铬铝钇过渡层及纳米复合层；所获涂层的膜/基结合强度达40-90N，10g载荷下表面复合硬度达40-65GPa，和GCr15配副摩擦系数为0.2-0.5。