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稀土元素Ce掺杂GaN纳米线的制备方法

2025-06-17 18:594720下载
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本发明公开了Ce掺杂GaN纳米线的制备方法,属于纳米材料及其制备的技术领域,通过两步(化学气相沉积法和固态烧结扩散法)制备Ce掺杂GaN纳米线:高纯Ga2O3粉、高纯Ce(NO3)3·6H2O粉和NH3气分别作为Ga源、Ce源和N源;将研磨后的Ga2O3粉末置于水平管式炉中央位置,并在管式炉下游放置Si衬底,对系统抽真空至5×10-3Pa;在Ar气保护下对管式炉进行加热,1000℃时通入100sccm的NH3,同时Ar气增大到100sccm,在1100℃恒温2h,降温到1000℃时关闭NH3,Ar气调至30sccm,自然冷却后收集样品;将上述纳米线在0.2mol/L的Ce(NO3)3溶液中浸泡1min后退火,退火后的样品密封在充有0.05MPa Ar气的石英管中,在500℃下进行烧结,反应结束后迅速冷却,收集样品。本发明的特点是:制备工艺简单,成本低,对环境危害小,易于推广。


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