一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法

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一种具有复合吸气剂层的MEMS组件及其制备方法，该方法包括：将非蒸散型吸气材料粉末、有机粘结剂、稀土氧化物三种组分混合均匀；使用40～300目的筛网在MEMS器件的盖板材料或管壳材料上丝印厚度为10～400微米的复合吸气剂层；在350～400℃真空烧制，制备出具有复合吸气剂层的MEMS组件。该组件可以在维持密封腔室真空度的同时，方便地在MEMS器件的多个内部部件上进行制备，结构简单。此组件在真空封装后，通过吸收内部腔室内的水汽及残余气体，可以提高MEMS器件的使用可靠性及寿命。