一种基于稀土掺杂TiO2薄膜的电致发光器件及其制备方法

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本发明公开了一种基于稀土掺杂TiO2薄膜的电致发光器件，包括硅衬底、发光层以及第一电极层和第二电极层，所述发光层为掺杂Tm、Er或Eu的TiO2薄膜，其特征在于，所述硅衬底和发光层之间设有SiO2薄膜。本发明提供的电致发光器件为SiO2-TiO2：RE(RE＝Tm、Er、Eu)双层结构，电子可以在SiO2薄膜的电场中加速形成热载流子，使得本发明的基于稀土掺杂TiO2薄膜的电致发光器件可以在较低的正向偏压下激发发光，所发出的光为Tm3+、Er3+或Eu3+稀土离子在可见光区及红外区的特征发光。