一种激光微焦点等离子体Kα射线源

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本实用新型提供了一种激光微焦点等离子体Kα射线源，本实用新型包括真空靶室系统，由真空管道连接的机械泵、分子泵；机械泵作为前级，分子泵通过法兰口与靶室相连；所述电磁辐射屏蔽层为圆筒形聚四氟乙烯层, 通过螺栓固定于真空靶室壁；所述激光束聚焦装置为一块F/3离轴抛物镜，放置于真空靶室内固定底座上。靶运动系统，由六维步进电机和靶架组成，靶架位于靶室中心, 望远瞄准系统中轴线上。望远瞄准系统，由一台长焦距望远镜以及可见光CCD组成，通过转接法兰连接到真空靶室上。电子束偏转装置为一块环形稀土永磁铁，位于在靶架之后, 样品台之前。